含氟水氟回收

Fluorine-containing water fluorine recovery

在積體電路制程中，于蝕刻及爐管清洗過程，一般常使用氫氟酸，因此在所排放之廢水中即產(chǎn)生含氟廢水，目前大多數(shù)之半導(dǎo)體廠，使用化學(xué)加藥混凝沉淀之處理技術(shù)，去除廢水中之氟離子，而所產(chǎn)生氟化鈣污泥餅，則委托廢棄物清除處理業(yè)者運(yùn)至掩埋場處理之。

但由于含氟廢水采化學(xué)混凝沉淀處理所產(chǎn)生之氟化鈣污泥，仍需進(jìn)行后續(xù)之清除處理，且土地成本較高，若采掩埋處理，較不符合經(jīng)濟(jì)效益。因此回收利用時(shí)最佳選擇。